半导体·液晶基板检测用YAMADA高亮度卤素光源/LED光源详细介绍

更新时间：2026-08-17

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高亮度卤素灯光源装置和高亮度LED光源装置是山田光学工業株式会社生产的产品，属于宏观观察用照明装置。该产品用于半导体晶圆（ウェハー）和液晶基板加工过程中，对最终仕上面进行异物、划痕、研磨不均、雾状浑浊、滑痕等各种缺陷的检测。其照度达到太阳光的4倍以上，可检出常规光照下容易遗漏的微细缺陷。

典型用途为晶圆和玻璃基板的检测。

产品型号一览

型号	光源类型	照射径	照度	照射距离
YP-150I	卤素灯（带二向色镜的灯泡）	30mmφ	400,000Lx以上	140mm
YP-250I	卤素灯（带二向色镜的灯泡）	40mmφ	400,000Lx以上	220mm
YP-250IL	LED	40mmφ	400,000Lx以上	220mm

卤素灯型号规格详情

灯泡部（YP-150I / YP-250I）

项目	YP-150I	YP-250I
照射径	30mmφ	40mmφ
照度	400,000Lx以上	400,000Lx以上
照射距离	140mm	220mm
光源	带二向色镜的灯泡	带二向色镜的灯泡
灯泡型号	JCR15V150W（ウシオ）	FLC24V250W（オスラム）
灯泡寿命	30～50小时	30～50小时
色温度	3,400K	3,400K
色调	白色	白色
环境温度	0～40℃	0～40℃
冷却方式	强制风扇空冷	强制风扇空冷
连接方式	12φ安装用轴	20φ安装用轴
尺寸	102(W)×351(H)×128(D)mm	122(W)×394(H)×131(D)mm
重量	约2.65kg	约3.59kg

卤素灯专用电源部（HPS-150 / HPS-250）

项目	HPS-150（YP-150I专用）	HPS-250（YP-250I专用）
输入电源	AC100～240V 50/60Hz	AC100～240V 50/60Hz
消费电力	约200W	约350W
点亮方式	直流点亮方式	直流点亮方式
光量调整	电压调整式	电压调整式
综合变动率	1% MAX（对输入、漂移、温度变动）	1% MAX（对输入、漂移、温度变动）
环境温度	0～40℃	0～40℃
冷却方式	强制风扇空冷	强制风扇空冷
尺寸	134(W)×78(H)×193(D)mm	134(W)×78(H)×253(D)mm
重量	约1.8kg	约2.2kg

LED型号规格详情

LED灯泡部（YP-250IL）

项目	规格
照射径	40mmφ
照度	400,000Lx以上
照射距离	220mm
光源	LED
LED寿命	5,000小时以上
色调	白色
环境温度	0～40℃
冷却方式	强制风扇空冷
连接方式	20φ安装用轴
尺寸	107(W)×229(H)×114(D)mm
重量	约2.94kg

LED专用电源部（LPS-250）

项目	规格
输入电源	AC100～240V 50/60Hz
消费电力	约200W
点亮方式	直流点亮方式
光量调整	电流调整式
综合变动率	1% MAX（对输入、漂移、温度变动）
环境温度	0～40℃
冷却方式	强制风扇空冷
尺寸	100(W)×117(H)×195(D)mm
重量	约1.65kg

卤素灯型号与LED型号对比

对比项	卤素灯型号（YP-150I / YP-250I）	LED型号（YP-250IL）
光源寿命	30～50小时	5,000小时以上
照射径	30mmφ / 40mmφ	40mmφ
照射距离	140mm / 220mm	220mm
光量调整方式	电压调整式	电流调整式
灯泡/LED更换成本	灯泡需定期更换	LED寿命较长

制造商信息

制造商：山田光学工業株式会社（YAMADA KOGAKU KOGYO）

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