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产品分类BETWAY SPORTS/ products
产品型号：PPS-8200p1/8300p1
更新时间：2024-08-24简要描述：日本orc半导体光刻机 PPS-8200p1/8300p1用途：支持各种应用特长-宽频谱光刻 (与菜单连动的 ghi线 gh线, i线的自动切换)-搭载可变NA功能 (可变为0.16和0.1)-最多8Field的拼接设计格式-光学系统不受感光材挥发气体和周围环境中化学物质影响
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
日本orc半导体光刻机 PPS-8200p1/8300p1
用途：支持各种应用
特长
-宽频谱光刻 (与菜单连动的 ghi线 gh线, i线的自动切换)
-搭载可变NA功能 (可变为0.16和0.1)
-最多8Field的拼接设计格式
-光学系统不受感光材挥发气体和周围环境中化学物质影响
制品规格
| 型式 | PPS-8200p1/8300p1 |
| wafer尺寸 | 6/8/12 英寸 |
| NA（开口数） | 0.16、0.1可变 |
| 缩小比 | 1:1 |
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