JTEKT 半导体 LCD 硬盘真空设备低发尘轴承

Clean Pro PRZ 是捷太格特（JTEKT，光洋 KOYO）面向半导体、LCD 面板、硬盘制造等高洁净场景开发的低发尘、低出气长寿命洁净固体润滑轴承，属于 EXSEV 极的端的特殊环境轴承系列，专门解决洁净制程里轴承产尘、释气污染产品良率的痛点。

一、开发背景

半导体生产过程中，轴承释放微粒、析出气体会污染晶圆，直接拉低产品良率、品质；为适配越来越严苛的无尘 / 真空制程环境，JTEKT 开发这款低发尘洁净轴承，用来降低设备维护成本、提升产线稼动率。

二、结构特点

在轴承滚动接触面（滚珠、内外圈滚道）上涂布凝胶状特殊氟高分子润滑涂层，以此实现润滑，不使用传统油脂：

• 内圈、外圈、滚珠：马氏体不锈钢

• 保持架、防尘盖：奥氏体不锈钢

三、核心性能

1. 洁净等级 10 级，发尘量低：相比 JTEKT 传统洁净轴承，微粒释放量减少 50%；

2. 耐真空 + 高温：可在 10⁻⁵ Pa 真空、150℃环境下工作，气体析出量极低；

3. 超长寿命：使用寿命达到同系列传统洁净轴承的10 倍以上。

四、应用场景

1. 半导体设备：晶圆传输机械手、光刻机（stepper）、SEM 晶圆检测设备；

2. LCD 面板设备：面板传输机械手、干式面板清洗装置；

3. 硬盘制造设备：溅射设备、干式清洗设备。

五、价值

减少微粒与气体污染，提升晶圆 / 面板良率；大幅降低设备维护频次，提高产线运行效率，是无尘真空精密输送设备的核心运动部件。

JTEKT 半导体 LCD 硬盘真空设备低发尘轴承 Clean Pro PRZ 具备低发尘、低释气、耐真空高温、长寿命特性，适配 10 级洁净环境。多用于半导体、LCD 面板、硬盘制造行业，配套晶圆机械手、光刻机、溅射设备等，降低微粒污染，提升产品良率，减少设备维护成本，提高产线稼动率。

JTEKT 半导体 LCD 硬盘真空设备低发尘轴承 Clean Pro PRZ 具备低发尘、低释气、耐真空高温、长寿命特性，适配 10 级洁净环境。多用于半导体、LCD 面板、硬盘制造行业，配套晶圆机械手、光刻机、溅射设备等，降低微粒污染，提升产品良率，减少设备维护成本，提高产线稼动率。